సూక్ష్మ మరియు నానోస్కేల్ ఫీల్డ్-ఎఫెక్ట్ పరికరాలు మరియు క్లోజ్ వేరియంట్‌లను ఉపయోగించడం ద్వారా రసాయన మరియు జీవసంబంధమైన అంశాల యొక్క సెమీకండక్టర్ పరికరం-ఆధారిత సెన్సింగ్ ప్రదర్శించబడింది. కార్బన్ నానోట్యూబ్‌లు మరియు సిలికాన్ నానోవైర్లు ఒకే మాలిక్యూల్ బయోసెన్సర్‌లుగా ప్రదర్శించబడినప్పటికీ, ఈ పరికరాలను రూపొందించడానికి ఉపయోగించే కల్పన పద్ధతులు సాధారణంగా ఆధునిక సెమీకండక్టర్ తయారీ సాంకేతికతలకు అనుకూలంగా ఉండవు మరియు వాటి పెద్ద స్థాయి ఏకీకరణ సమస్యాత్మకంగా ఉంటుంది. మైక్రోఎలక్ట్రానిక్ ఫాబ్రికేషన్ టెక్నిక్‌లలో ఇటీవలి పురోగతి ద్వారా ఈ లోపాలు పరిష్కరించబడ్డాయి, దీని ఫలితంగా నానోవైర్-వంటి నిర్మాణాల సాక్షాత్కారం ఏర్పడింది. అటువంటి పద్ధతులను ఉపయోగించి ఖచ్చితమైన ప్రదేశాలలో సిలికాన్ నానోవైర్‌లను రూపొందించే పద్ధతిని ఇక్కడ మేము నివేదిస్తాము. మా పద్ధతి దట్టమైన శ్రేణులను ఉత్పత్తి చేయగల నిజంగా సమీకృత సెన్సార్‌లను గ్రహించడానికి అనుమతిస్తుంది.
ఇంటిగ్రేటెడ్ నానోస్కేల్ పరికరాల సంబంధిత జర్నల్‌లు
ACS నానో, అడ్వాన్స్‌డ్ ఫంక్షనల్ మెటీరియల్స్, జర్నల్ ఆఫ్ ఫిజికల్ కెమిస్ట్రీ లెటర్స్, బయోమెటీరియల్స్, స్మాల్, నానో రీసెర్చ్
English 
Spanish 
Chinese 
Russian 
German 
French 
Japanese 
Portuguese 
Hindi 